小测量半径：2µm

小测量楔角：20°

小测量粗糙度（Ra）：80nm

小测量粗糙度（Sa）：50nm

大扫描高度：25mm

大操作距离：17.5（5×物镜）

大扩展视野范围：2500mm2

垂直分辨率：20nm

大单一方向测量范围：50mm

位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)

位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)